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除了光刻机之外,先进半导体工艺还依赖光刻胶,这方面的供应也主要是靠美日等公司,如今国产光刻胶已经在部分领域取得突破,晶瑞电材日前透露他们的光刻胶已经可以用于0.25-0.13um工艺,也就是250-130nm工艺。

晶瑞电材13日在互动平台上表示,公司KrF高端光刻胶部分品种已量产。

子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司的KrF光刻胶产品分辨率达到了 0.25~0.13μm 的技术要求,已通过部分重要客户测试,KrF高端光刻胶部分品种已量产。

公司子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司凭借强大的研发实力和突出的产品优势,取得了下游客户的认证,开拓并维系了一大批国内外优质客户,构建了优质的业务平台并成功进入优秀客户的供应链。

据了解,晶瑞电材是国内最早从事光刻胶生产的企业之一,目前已经取得合肥长鑫、士兰微、扬杰科技、福顺微电子、中芯国际等国内企业的供货订单。

光刻胶有不同的技术类别,低端的中g线/i线光刻胶自给率约为20%,KrF光刻胶自给率不足5%,而高端的ArF光刻胶完全依赖进口,是国内半导体的卡脖子技术之一。

可用于130nm工艺 国产高端光刻胶已量产:打破美日垄断

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